イオン源フィラメント（Ion Gun Tungsten Filament, IG Tungsten Filament）

概要

イオン源フィラメントはタングステン線でできており、主にイオンビームアシスト、イオンビームスパッタリング、イオン源堆積、イオンビームエッチング、イオンビーム洗浄などの真空コーティングに使用されます。 イオン源の動作において、フィラメントはホットエレクトロンを放出し、イオンビームと一緒にプラズマを形成し、次に、めっきおよび洗浄される基板と相互作用して、洗浄およびコーティングの目的を達成する。