スパッタリングターゲット (Sputtering Target)

スパッタの標的画像

概要

スパッタターゲットはスパッタコーティング用のターゲットであり、蒸発スプレーまたはマグネトロン飛散めっきによって基板上に膜が形成される。ターゲットの種類が多く、金属、陶磁器、合金などがあります。

カテゴリ

形状によって:正方形ターゲット、円ターゲット、異形ターゲット

成分別:金属標的、合金標的、セラミック化合物標的

応用によると、半導体関連セラミックスターゲット、記録媒体セラミックスターゲット、ディスプレイセラミックスターゲット、超伝導セラミックスターゲット、巨大磁気抵抗セラミックスターゲット

使用領域によると、マイクロ電子ターゲット、磁気記録ターゲット、光ディスクターゲット、貴金属ターゲット、薄膜抵抗ターゲット、導電性フィルムターゲット、表面改質ターゲット、光カバー層ターゲット、装飾層ターゲット、電極ターゲット、パッケージターゲット

マグネトロンスパッタリング

これは物理的な気相コーティングです。電子銃システムを用いてめっきされた材料に電子放出を集光し,スパッタされた原子を蒸着材料に沈殿させて膜にするのが原理です。スパッタターゲットはメッキされた材料です。

スパッタ技術

スパッタは薄膜材料を作る技術の一つである。イオン源を利用してイオンを生成し,イオンを真空中に加速的に凝集させ,性能イオンビームをイオンと固体表面の原子を交換してターゲット表面の原子を離れ,基板表面に堆積させるとスパッタリングを完了する。

用途

スパッタターゲットは主に電子及び情報産業に応用されています。例えば、集積回路、情報記憶、液晶ディスプレイ、レーザーメモリ、電子制御装置など、ガラスコーティング分野にも応用できます。また、耐摩耗材料、高温耐食、高級装飾用品などの業界にも応用できます。

金属スパッタリングターゲット

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セラミックスパッタリングターゲット

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合金スパッタリングターゲット

ニッケルクロム合金ターゲット、ニッケルバナジウム合金ターゲット、アルミニウムシリコン合金ターゲット、ニッケル銅合金ターゲット、チタンアルミニウム合金、ニッケルバナジウム合金ターゲット、ホウ鉄合金ターゲット、ケイ鉄合金ターゲットなどの高純度合金スパッタリングターゲット

画像

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市場価格

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