离子源灯丝（Ion Gun Tungsten Filament, IG Tungsten Filament）
简介
离子源灯丝用钨丝制作而成，主要用于真空镀膜，包括离子束辅助，离子束溅射，离子源沉积，离子束刻蚀及离子束清洗等。在离子源工作中，灯丝作为发射热电子，与离子束一起作用形成等离子体，再与被镀和被清洗的基片产生作用，从而达到清洗和镀膜的目的。
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离子源灯丝用钨丝制作而成，主要用于真空镀膜，包括离子束辅助，离子束溅射，离子源沉积，离子束刻蚀及离子束清洗等。在离子源工作中，灯丝作为发射热电子，与离子束一起作用形成等离子体，再与被镀和被清洗的基片产生作用，从而达到清洗和镀膜的目的。