離子源燈絲（Ion Gun Tungsten Filament, IG Tungsten Filament）
簡介
離子源燈絲用鎢絲製作而成，主要用於真空鍍膜，包括離子束輔助，離子束濺射，離子源沉積，離子束刻蝕及離子束清洗等。在離子源工作中，燈絲作為發射熱電子，與離子束一起作用形成等離子體，再與被鍍和被清洗的基片產生作用，從而達到清洗和鍍膜的目的。
微信公眾號
離子源燈絲用鎢絲製作而成，主要用於真空鍍膜，包括離子束輔助，離子束濺射，離子源沉積，離子束刻蝕及離子束清洗等。在離子源工作中，燈絲作為發射熱電子，與離子束一起作用形成等離子體，再與被鍍和被清洗的基片產生作用，從而達到清洗和鍍膜的目的。